氣體質(zhì)量流量控制器是對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制的設(shè)備，我們?yōu)榭蛻舳ㄖ频暮芏鄬?shí)驗(yàn)儀器都會(huì)用到它。

氣體質(zhì)量流量控制器主要應(yīng)用領(lǐng)域如下：

① 半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制。

② 分析儀器設(shè)備的氣體計(jì)量與控制。

③ 各種形式的真空鍍膜設(shè)備。

④ 環(huán)境檢測(cè)與分析實(shí)驗(yàn)儀器設(shè)備。

⑤ 化工、石化、冶金、食品、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測(cè)和控制。

⑥ 特種材料表面處理裝置與燃燒控制。

⑦ 混氣配氣系統(tǒng)和泄露控制系統(tǒng)。

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